セミナー5/22 シランカップリング実用講座 －明日から活かせる処理技術ノウハウとトラブル対策－
【関連セミナー】
シランカップリング剤の効果的な使用法とその応用
をご覧ください。
シランカップリング実用講座
－明日から活かせる処理技術ノウハウとトラブル対策－
PDFパンフレット(セミナー「シランカップリング実用講座－明日から活かせる処理技術ノウハウとトラブル対策－」)
主 催
S&T出版株式会社
日 時 ・ 場 所
日時：2015年5月22日(金) 10:30～16:30
会場：連合会館 5階 502会議室 （東京都千代田区神田駿河台3-2-11）
→会場へのアクセス
受 講 料 （税込）
48,600円 STbook会員価格 46,000円 ※昼食代・資料代を含む
＜1名様分の受講料で2名様まで受講できます。＞
※2名様ご参加は同一会社・法人からの同時申込に限ります。
※3名様以上のご参加は、追加1名様あたり10,800円OFFになります。
例：STbook会員で1名様：46,000円
〃 2名様：46,000円
〃 3名様：81,200円
→複数名同時申込はこちらの用紙（PDF）をご利用ください。
講 師
河合 晃 氏 / 長岡技術科学大学 大学院 電気系 電子デバイス・フォトニクス工学講座 教授
【ご略歴・ご活動】
三菱電機（株）LSI研究所にて10年間の電子デバイスの開発・試作・量産移管業務に従事。
製品化に結び付くプロセス技術に関する多くの知見を有する。著書・論文・学会発表・特許は多数。
日本接着学会 評議員。
趣 旨
シランカップリング処理は、多くの製造分野産業で製品表面の代表的な疎水化処理技術および分散技術として用いられています。本講座では、HMDS（ヘキサメチルジシラザン）を中心に、付着、密着、濡れ、気泡、液滴、コーティング、微粒子分散の制御法について多くの実験データに基づき説明します。また、処理装置の構成ノウハウ、表面エネルギーなどの様々な評価法について丁寧に説明します。また、実際のトラブル解析および技術相談にも応じます。
本セミナーで得られる知識
シランカップリング処理に代表される物質の表面界面制御の基礎知識、トラブルに対する適応能力など
プログラム詳細
【基本編】シランカップリング処理の本質を理解する
1. シランカップリング処理を最適化する
1-1 疎水性と超撥水との違い（純水接触角により90度を超える）
1-2 処理温度（沸点近くに最適温度が存在する）
1-3 処理時間（短時間で処理効果がある）
1-4 飽和蒸気処理（単分子処理に効果がある）
1-5 相互作用引力（吸着力が低下する）
2. 効果的な処理装置を構成する
2-1 気化方式（バブリング、減圧方式の比較）
2-2 脱水ベーク（吸着水の除去）
2-3 コンダクタンス（処理系統の流量設計）
2-4 装置設計例（大型パネル処理用）
3. シランカップリング表面を使いこなす
3-1 表面エネルギー（エネルギーで評価する）
3-2 濡れエネルギーWa（疎水化と親水化の評価方法）
3-3 溶液浸透解析（塗膜の浸透性）
3-4 拡張係数S、円モデル（界面のシーリング性）
【応用編】実際の現場でのシランカップリング処理のノウハウ！！
1. 塗膜の付着性をコントロールする
1-1 パターン剥離（ドライ中での付着力は低下する）
1-2 ポッピング現象（局所剥離が増加する）
2. 溶液中での界面密着性をコントロールする
2-1 液中剥離の抑制効果（シーリング性を促進させる）
3. 微粒子の分散性をコントロールする
3-1 粘性塗膜内の分散性（アンダーフィル剤）
4. 塗膜のコート性をコントロールする
4-1 ピンホールとはじき（ピンホールの撲滅方法）
4-2 粘性指状変形VF（ギャップ内のピンホール解決法）
4-3 凹凸パターン（ピンニング効果）
5. 液滴と気泡の付着性をコントロールする
5-1 液滴成長制御（表面の曇りのメカニズム）
5-2 気泡付着性の制御（疎水性表面ほど気泡が付着する）
6. 表面を高品位にコントロールする
6-1 プラズマ処理（親水性とハイブリッド処理）
6-2 アルカリ処理（表面エッチングとのハイブリッド処理）
6-3 ナノインプリント（モールドの離形処理）
7. シランカップリング剤によるCVD成膜（HMDSO膜の形成）
＜質疑応答＞（技術相談、日頃のトラブル相談に応じます）
![シランカップリング剤の効果と使用法 [新装版]](/user_data/packages/st/img/item/B001.jpg)
