セミナー12/8　ナノシリコンの機能と最新応用動向







ナノシリコンの機能と最新応用動向

PDFパンフレット(セミナー「ナノシリコンの機能と最新応用動向」)

　主　催

S&T出版株式会社

　日　時　・　場　所

日時：2015年12月8日(火) 13:00～16:30
会場：高橋ビルヂング（東宝土地(株)）　5F　会議室　（東京都千代田区神田神保町3-2）
　　　　　　→会場へのアクセス

　講　師

越田　信義　氏　／　東京農工大学 大学院 工学府　特別招聘教授

【略歴】
1973年3月 東北大学大学院博士課程修了(工学博士)。
日産自動車(株)中央研究所を経て、
1981年 東京農工大学助教授、
1988年 同教授、
2009年 同特任教授・名誉教授、
2014年 同特別招聘教授。
この間、米ＭＩＴ客員研究員(1992-1993)、
仏グルノーブル大学招聘客員教授(1996)、
学内発ベンチャー(株)カンタム14 ＣＴＯ(2002～)。
ナノシリコンの作製、機能、光・電子・音響応用に関する研究に従事。

【研究実績】
発表論文：392編。
著書： N. Koshida (Ed.),
Device Applications of Silicon Nanocrystals and Nanostructures (Springer, 2009),
越田信義 (監修）、ナノシリコンの最新技術と応用展開（シーエムシー出版, 2010)
他30編。登録特許：45件。
URL：http://www.tuat.ac.jp/~koslab/

【受賞歴】
米Electrochemical Societyフェロー表彰(2006)、
応用物理学会フェロー表彰(2007)、
映像情報メディア学会丹羽高柳賞「論文賞」(共同受賞、2008)、
Best Paper Award, Int. Display Workshop (共同受賞、2008)、
他４件。

　趣　旨

シリコンの微細化が進み量子効果が発現する領域（４．７nm以下）にまで達すると、シリコンの基本的性質を支配するバンドギャップが拡大し、 通常サイズでは見られない特性が現れる。それらを機能として制御し素子化に結びつける研究開発が多様な分野に拡大してきた。 ここでは、ナノシリコンの作製方法と物性変化について述べた後、光・電子・音響応用を中心に研究開発の状況を紹介する。

　本セミナーで得られる知識

ポストスケーリング時代の到来とともに、半導体デバイスの開発に当たっては、新たな視点に基づく応用展開が不可欠になっている。 その事例として、量子サイズ領域で発現する機能に基づくシリコンテクノロジーを把握する。

　プログラム詳細

1.　ナノシリコンとは
　1.1　シリコンテクノロジーの流れ
　1.2　量子サイズ化によるシリコンの物性変化
　1.3　ナノシリコンの作製技術
　1.4　発現機能と応用の多様性

2.　フォトニクス
　2.1　可視発光の機構と特性
　2.2　発光素子の開発状況
　2.3　光導電・光電変換などへの展開
　2.4　シリコンフォトニクスの動向

3.　弾道電子効果
　3.1　弾道電子の生成と放出
　3.2　真空中応用（並列一括露光、高感度撮像）
　3.3　気体中応用（負イオン生成、真空紫外光発生）
　3.4　溶液中応用（水素発生、固体薄膜堆積）

4.　アコースティックス
　4.1　熱誘起音波発生の機構
　4.2　音響出力の広帯域性
　4.3　インパルス・デジタル駆動と応用
　4.4　小動物超音波交信機構の解析

5.　まとめ
　5.1　シリコンデバイスの将来
　5.2　ナノシリコンの可能性