低コスト・高機能なポリマーＭＥＭＳの開発と応用展開
主 催
S&T出版株式会社
日 時 ・ 場 所
日時：2016年5月30日(月) 10:30～16:30
会場：高橋ビルヂング（東宝土地(株)） 会議室 （東京都千代田区神田神保町3-2）
→会場へのアクセス
受 講 料 （税込）
49,800円 Ｅメール案内会員価格 47,300円 ※昼食代・資料代を含む
＜1名様分の受講料で2名様まで受講できます。＞
※2名様ご参加は同一会社・法人からの同時申込に限ります。
※2名様ご参加は2名様分の参加申込が必要です。ご連絡なく2名様のご参加はできません。
※3名様以上のご参加は、追加1名様あたり10,800円OFFになります。
Ｅメール案内登録をしていただいた方には、Ｅメール案内会員価格を適用いたします。
→複数名同時申込はこちらの用紙（PDF）をご利用ください。
趣 旨
環境に優しいポリマー材料を用い、そのしなやかさ熱膨張特性を利用し可動部を有するマイクロセンサやアクチュエータの製作が可能となりました。製造プロセスはこれまでの半導体プロセスに比べ低い設備投資で、MEMS産業への参入障壁が低くなると期待されます。本セミナーではポリマーMEMSの製作例を紹介すると共に実用化に重要な信頼性試験結果を示します。これらの結果をもとにポリマーMEMS技術の展望について眺めてみたいと思います。
受講に必要な知識
特になし
本セミナーで得られる知識
今後、持続可能な社会の実現、地球的規模の課題への対応にはIoT（internet of things）で代表される産業構造の高度化を推進する必要があります。MEMSはそのキーデバイスであり、益々重要な地位を占めることになります。また、毎年1兆個規模の大量のセンサを社会が消費し活用する近未来のセンサ社会を構成する「トリリオン・センサ（trillion sensor）」構想があります。これは現在のセンサ需要の100倍に当たります。この構想を実現するには、センサコストは現在の1／100とすることが望まれます。そこで、低コストで大量生産が得意なポリマー材料を用いたMEMSの登場が必須となります。これらの展望を本セミナーで皆さんと一緒に考えたいと思います。
プログラム詳細
1. MEMSの概論
1-1 MEMSとは
1-2 MEMS技術の開発推移
1-3 MEMSのこれまでの開発例紹介
2. MEMSの産業化の推移
2-1 MEMSの市場予測
2-2 ポリマーMEMSの産業化の展望
3. ポリマー材料の特徴
3-1 ポリマーとシリコンの材料特性の比較
3-2 ポリマーMEMSの開発のねらい
4. ポリマーMEMS製造技術
4-1 シリコン金型の製作技術
4-2 ポリマーMEMS製造プロセス
4-3 ポリマーMEMS製造プロセスの特徴
5. ポリマーMEMSの実証試作
5-1 静電駆動マイクロアクチュエータ
5-2 静電駆動マイクロミラーデバイス
5-3 熱電型マイクロアクチュエータ
5-4 容量型加速度センサ
6. バイオ技術への応用
6-1 バイオ検査デバイス試作例紹介
7. 信頼性試験
7-1 寿命試験
7-2 引張強度試験
8. ポリマーMEMS応用の展望
9. まとめ
講 師
■杉山 進 氏
立命館大学 総合科学技術研究機構 客員教授
東京大学 IRT研究機構 特任研究員
一般社団法人 産業科学技術研究支援機構 代表理事
■略歴
1965～1995（株）豊田中央研究所 所属
半導体圧力センサの集積化技術、マイクロプロセス技術、MEMSの研究開発に従事
1995～現在 立命館大学 所属
理工学部教授（1995~),
COE推進機構教授（2007~）,
立命館ｸﾞﾛｰﾊﾞﾙ･ｲﾉﾍﾞｰｼｮﾝ研究機構教授（2008~）,
総合科学技術研究機構客員教授（2015~）
マイクロシステム工学の教育およびシンクロトロン放射光リソグラフィ技術、
マイクロセンサ、アクチュエータ、Si-MEMS、ポリマーMEMSの研究開発に従事
2009~2011 日本学術振興会(JSPS)科学研究員/国際協力機構(JICA)専門家スリランカ派遣
ナノテクノロジー、MEMS研究拠点形成業務に従事
2013~現在 一般社団法人産業科学技術研究支援機構 代表理事
2015~現在 東京大学 IRT研究機構 特任研究員
■学会活動
エレクトロニクス実装学会理事（2007~2009）,常務理事（2009~2011）
電気学会理事・ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門長（2008~2010）, フェロー(2011~)
応用物理学会正員、日本ロボット学会正員、日本機械学会正員、IEEE正員
■受賞
1992 日刊工業新聞社 第8回技術・科学図書文化賞優秀賞
2000 電気学会 優秀技術活動賞 特別賞
2002, 2003, 2008 Best Paper Award, IEEE International Symposium on Micromechatronics and Human Science
2004 文部科学大臣賞 研究功績者表彰
2012 電気学会 業績賞
